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产品简介
SY-9404电子表面活性剂是一种阴离子含氟化学表面活性剂，它可以在低pH溶液中的提供非常低的表面张力，如磷酸/乙酸/硝酸混合物用于金属蚀刻。它非常高的表面活性可以提供：
l 改善润湿；
l 优良的溶解性；l 低浓度而高效率；
l 水溶中稳定；
l 可过滤性；
主要应用
用于金属蚀刻溶液，包括磷酸/乙酸/硝酸（“PAN蚀刻”）混合物，以及其他水性微电子工艺制程中的化学品，如在低pH溶液中的应用。
组分
外观 | 清亮液体 |
氟改性丙烯酸磺酸 | 25% |
氮甲基吡咯烷酮NMP | 75% |
比重 | 1.15 g/L |
离子类型 | 阴离子 |
pH | 4.5 |
性能表现
在不同溶液中的表面张力dyne/cm
0ppm | 100ppm | 200ppm | 500ppm | 1000ppm | 2000ppm | |
水 | 70 | 40 | 33 | 24 | 20 | 19 |
10%KOH | 77 | 38 | 30 | 25 | 22 | 18 |
50% H2SO4 | 67 | 39 | 29 | 24 | 21 | 19 |
40%HNO3 | 54 | 39 | 31 | 24 | 22 | 18 |
18.5M HCl | 63 | 36 | 29 | 23 | 22 | 19 |
85% H3PO4 | 78 | 38 | 28 | 24 | 21 | 19 |
1:50 NH4/H2O | 73 | 37 | 28 | 23 | 22 | 20 |
100:1 氢氟酸 | 72 | 36 | 31 | 23 | 21 | 21 |
7:1 缓冲氢氟酸A | 70 | 36 | 32 | 23 | 22 | 20 |
500:1缓冲氢氟酸B | 56 | 38 | 31 | 24 | 23 | 20 |
A – 7份氟化铵（40%）比1份氢氟酸(49%) 体积比
B – 500份氟化铵（40%）比1份氢氟酸(49%) 体积比
* 表面活性剂的浓度是基于有效份含量。* 表面张力测试依据ASTM D1331的Wilhelmy片法。
金属蚀刻液中的表面张力 dyne/cm
含量 | 0ppm | 50ppm | 100ppm | 200ppm | 500ppm |
蚀刻液 1* | ~70 | 40 | 38 | 29 | 22 |
蚀刻液 2* | ~65 | 40 | 39 | 28 | 21 |
** 金属蚀刻液1和2在于不同比例的磷酸，硝酸和冰醋酸，主要用于铝蚀刻
产品安全和处置
SY-9404表面活性剂用于半导体晶圆厂和制造太阳能电池板和平板显示器。建议的处置方法是在能够处理卤化材料的设施中进行高温焚烧。必须防止表面活性剂SY-9404释放到环境中。预防包括但不限于处理含有表面活性剂的含水废物流。有关其他产品安全和操作信息，请在使用本产品前阅读产品标签和材料安全数据表。
